微波消解法是一種新的樣品分解技術，是將樣品放置在微波爐內的溶樣罐中，利用微波輻射加熱分解樣品，按照嚴格的程序控制溶樣的過程。

微波位于紅外輻射與無線電波之間，能穿透一些介質，將能量直接輻射到反應物上。物質分子在微波電磁場作用下發生瞬時極化。樣品與消解液混合物吸收微波能量之后，由于離子傳導與偶極子轉動，產生內部熱效應，從而迅速提高反應體系的溫度，使消解液分解試樣，被測組分釋放出來。

用微波消解試樣時，使用的盛樣容器材料對微波是透明的，且溫度較低，與溶液接觸的熱分子與器壁碰撞時將能量傳遞給相對較冷的器壁，使容器底部到頂部形成了一個溫度梯度，消解酸氣在頂部又冷凝返回液相。由于上述原因，在微波消解試樣時有較高的溶樣溫度，但其內應力較相應于該溫度下的通常的平衡壓力要低，有利地保證了消解操作的安全性，這正是在密閉容器內微波消解樣品的優點。

與傳統的傳導加熱方式相比，微波消解樣品大大提高了反應速率、縮短了樣品制備的時間、可控制反應條件，使制樣精度更高，利用密閉容器高壓消解樣品，使溶樣更*。微波消解也避免了揮發元素的損失、有毒危險氣體對環境的污染和對操作人員的傷害。同時，試劑用量少，密閉消解，沾污減少，空白值低。微波消解適用范圍廣泛，可用于地質、冶金、生物、環境、食品等各種樣品。但是，微波消解樣品同樣存在缺點，即溶樣量小、微波溶樣裝置價格較貴。